Цены на переработку мишеней для распыления на международном рынке привлекают внимание. Например, по данным Лондонской биржи металлов (LME), ожидается, что цена на рутений стабилизируется на уровне 1000–1200 долларов за унцию к 2025 году. Стоимость переработки высокочистого рутениевого лома (содержание рутения ≥10%) составляет 150–180 долларов за унцию, что значительно выше, чем у многих традиционных металлов.
Стоимость переработки различных драгоценных металлов существенно различается. Рутениевый порошок полупроводникового качества стоит 218–268 долларов за унцию, в то время как лом промышленного рутения стоит примерно 80–120 долларов за унцию.
Цены колеблются из-за геополитических факторов и цепочек поставок, их ежедневные колебания достигают ±15%. Профессиональные услуги по переработке мишеней для распыления используют передовые технологии обнаружения для точной оценки стоимости лома, обеспечивая клиентам справедливую прибыль.
В производстве полупроводников распыляемые мишени являются критически важными материалами для производства микросхем. Мишени из оксида алюминия используются для нанесения изолирующих и диэлектрических слоев при производстве интегральных схем. Они эффективно изолируют цепи, предотвращая помехи, уменьшая утечки тока и повышая надежность и долговечность изделий.
Рутениевые мишени представляют особую ценность в полупроводниковой промышленности, особенно при производстве межсоединений в микросхемах с размерами менее 7 нм. Рутениевые плёнки обеспечивают стабильную передачу тока, повышая производительность и надёжность микросхем.
По мере перехода технологических процессов к размерам ниже 5 нм требования к скорости распыления материалов мишеней в трёхмерных структурах устройств возросли до более чем 10 нм/мин. Рутениевые мишени демонстрируют выдающиеся характеристики в этой области, становясь незаменимыми материалами для производства высокотехнологичных микросхем.
В полупроводниковой промышленности к материалам мишеней предъявляются исключительно высокие требования чистоты, обычно не менее 99,99% (класс чистоты 4N). Благодаря этому стоимость переработки лома полупроводниковых мишеней значительно выше, чем у лома из других источников.
Цены на переработку распыляемых мишеней не указываются произвольно, а рассчитываются с использованием точных формул переработки драгоценных металлов : Фактическая цена переработки = (Фактическая чистота отходов ÷ Стандартная чистота) × (Фактическая скорость извлечения ÷ Базовая скорость извлечения) × Дневная базовая цена металла - Затраты на переработку.
Первая переменная — это сравнение чистоты. Промышленный оксид иридия обычно имеет стандартную чистоту 99,99%. Если фактическая чистота лома ниже этого стандарта, цена соответственно снижается.
Вторая переменная — это сравнение коэффициентов извлечения. В отрасли эталонный коэффициент извлечения обычно составляет 95%. Если лом имеет сложную форму или содержит трудноотделяемые примеси, фактический коэффициент извлечения может снизиться, что повлияет на итоговую цену.
Третья переменная — это ежедневная базовая цена металла. В качестве источника информации используется спотовая котировка Лондонской биржи металлов (LME), которая обновляется в режиме реального времени по всему миру для обеспечения прозрачности ценообразования.
Наконец, вычитаются затраты на переработку, которые зависят от формы лома и сложности обработки. Массовый целевой материал требует меньших затрат на переработку, в то время как тонкоплёночный лом требует сложных процессов разделения, что значительно увеличивает затраты.
Цены на переработку рутениевых мишеней зависят от множества факторов. Для высокочистых рутениевых мишеней (содержание рутения ≥10%), таких как лом полупроводниковых мишеней и отработанные рутениевые катализаторы , цена переработки составляет примерно 150–180 долларов за унцию.
Рутениевый лом средней чистоты (содержание рутения 1–10%), такой как гальванические отходы и отходы фотоэлектрических электродов, оценивается примерно в 80–120 долларов за унцию. Лом низкой чистоты (содержание рутения <1%), включая покрытия электронных компонентов и отходы лабораторных растворов, оценивается примерно в 30–60 долларов за унцию.
Существуют значительные региональные различия в переработке рутениевых мишеней. В регионах с развитыми техническими возможностями цены на переработку обычно на 15–20% выше, чем в менее развитых регионах, что напрямую связано с точностью обнаружения и процессами извлечения.
Технологические достижения повысили эффективность переработки рутениевых мишеней. Технология микроволнового пиролиза позволяет извлекать рутений из керамических носителей при температуре 2000 °C, увеличивая степень извлечения с 75% до 99,2% и значительно увеличивая стоимость переработки.
Заводы по производству полупроводников являются основным источником высококачественных отходов мишеней для распыления. Отбракованные мишени, остатки от очистки камер распыления и некачественные тонкоплёночные подложки, образующиеся в процессе производства микросхем, содержат драгоценные металлы, пригодные для извлечения.
Производители устройств отображения информации также генерируют значительное количество отходов распыления мишеней. Мишени из оксида рутения и иридия , используемые в производстве OLED-дисплеев, несмотря на толщину всего в несколько десятков нанометров, сохраняют высокую ценность при переработке.
Фотоэлектрическая промышленность представляет собой ещё один важный источник. В производстве солнечных элементов используются различные драгоценные металлы, причём извлекаемые драгоценные металлы присутствуют как в производственных отходах, так и в отслуживших свой срок фотоэлектрических панелях.
Научно-исследовательские институты и университетские лаборатории также генерируют небольшое количество высокочистых отходов распыляемых мишеней. Эти отходы, как правило, отличаются высокой чистотой, минимальной сложностью обработки и относительно высокой стоимостью переработки.
Покрытия из сплава рутения и иридия , используемые в аэрокосмической и оборонной промышленности, выдерживают температуры до 4000 °C. Стоимость переработки отходов этих специальных сплавов зачастую значительно превышает стоимость обычного лома.